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節次
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時間
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一
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二
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三
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四
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五
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上午
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09：30
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12：30
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Oxford ICP-RIE(卓越)
(最少2人，上限3人)
2/5訓練
2/26檢定
(半小時為單位設檢定課，共6個時段)
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雷射共軛聚焦顯微鏡(卓越)
2/20訓練
2/27檢定
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Karl Suss Aligner MA8(卓越)
(含spin coater)
2/22訓練
2/29檢定
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PECVD(卓越)
(最少3人，上限5人)
2/19 訓練
2/26 檢定
(半小時為單位設檢定課，共6個時段)
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下午
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14：00
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17：00
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13：00-17：30
2/5
實驗室一般訓練
(應力109室)
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13：30-16：00
2/6
卓越大樓
安全訓練
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PECVD(卓越)
2/21[練習]
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E gun氧化物及金屬(卓越)
2/22訓練
2/29檢定
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O2 Descum_
Photoresist
(卓越)
2/16訓練
2/23檢定
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SEM+EDS
(卓越)
2/19[練習]
2/26[練習]
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Karl Suss Aligner MA6(卓越)
(含spin coater)
2/20訓練
2/27檢定
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SEM+EDS
(卓越)
2/21[練習]
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16:00-18:00
Oxford ICP-RIE
(卓越)
2/22[練習]
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16:00-18:00
Oxford ICP-RIE
(卓越)
2/19[練習]
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SEM+EDS
(卓越)
(最少2人，上限3人)
2/6訓練
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16:00-18:00
Oxford ICP-RIE
(卓越)
2/21[練習]
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SEM+EDS
(卓越)
2/29檢定
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16:00-18:00
Oxford ICP-RIE
(卓越)
2/20[練習]
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