跳到主要內容區塊

奈米機電系統研究中心

中心公告

112年12月份無塵室訓檢課程時間表(11/20 10:30開始接受報名)
  • 發布單位:奈米機電系統研究中心

                  十二月奈米機電系統研究中心儀器訓練/檢定課程表     (地點:應力所/卓越大樓無塵室)

節次

時間

上午

0930

|

1230

Samco ICP(卓越)

12/11[練習]

12/18[練習]

12/25[練習]

E-Gun氧化物及金屬(卓越)

12/5訓練

12/12檢定

Samco ICP(卓越)

12/13[練習]

PECVD(卓越)

(最少3人,上限5)

12/7 訓練

12/28 檢定

 

Oxford ICP-RIE(卓越)

(最少3人,上限5)

12/4訓練

12/25檢定

Karl Suss Aligner MA8 (卓越)

(spin coater)

12/19訓練

12/26檢定

 

9:30-10:30

橢偏儀(卓越)

12/14訓練

12/21檢定

 

 

 

 

10:30-11:30

RTA(卓越)

12/14訓練

12/21檢定

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

下午

1400

|

1700

1300-1730

12/4

實驗室一般訓練

(應力109)

1330-1600

12/5

卓越大樓

安全訓練

雷射共軛聚焦顯微鏡(卓越)

12/6訓練

12/13檢定

Karl Suss Aligner MA6(卓越)

(spin coater)

12/7訓練

12/14檢定

SEM+EDS

(卓越)

12/15[練習]

12/22[練習]

PECVD(卓越)

12/11 [練習]

12/18 [練習]

PECVD(卓越)

12/12 [練習]

12/19 [練習]

PECVD(卓越)

12/20 [練習]

12/27 [練習]

Sputter(卓越)

12/21訓練

12/28檢定

Spin Coater(卓越)

1124月之前上過曝光機課程,但尚未有spin coater權限之使用者

12/15 訓練

12/22 檢定

SEM+EDS

(卓越)

12/11[練習]

16:00-19:00

Samco ICP(卓越)

(最少2人,上限3)

12/5訓練

12/26檢定

SEM+EDS

(卓越)

(最少2人,上限3)

12/6訓練

12/20[練習]

12/27檢定

16:00-18:00

Oxford ICP-RIE

(卓越)

12/7[練習]

12/14[練習]

12/21[練習]

 

16:00-18:00

Oxford ICP-RIE

(卓越)

12/11[練習]

12/18[練習]

16:00-18:00

Oxford ICP-RIE

(卓越)

12/5[練習]

12/12[練習]

12/19[練習]

16:00-18:00

Oxford ICP-RIE

(卓越)

12/6[練習]

12/13[練習]

12/20[練習]