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奈米機電系統研究中心

中心公告

04月份無塵室訓檢課程時間表(3/20 10:30開始接受報名)
  • 發布單位:奈米機電系統研究中心

                  四月奈米機電系統研究中心儀器訓練/檢定課程表  (地點:應力所/卓越大樓無塵室)

節次

時間

上午

0930

|

1230

Karl Suss Aligner MA8(卓越)

4/10訓練

4/17檢定

RIE介電材料(卓越)

4/11訓練

4/18檢定

Spin Coater(應力)

4/12訓練

4/19檢定

SEM+EDS(卓越)

4/6訓練

4/13檢定

Sputter

(應力)

4/7訓練

4/14檢定

雷射共軛聚焦顯微鏡(卓越)

4/17訓練

4/24檢定

RIE光阻材料(卓越)

4/11訓練

4/18檢定

E-Gun氧化物及金屬(卓越)

4/19訓練

4/26檢定

Probe-Type Surface Analyser (應力)

4/6訓練

4/13檢定

EVG Aligner(應力)

4/14訓練

4/21檢定

 

 

 

Oxford ICP-RIE

(卓越)

4/20訓練

4/27檢定

橢偏儀(卓越)

4/21訓練

4/28檢定

 

 

 

RTA(卓越)

4/20訓練

4/27檢定

 

 

 

 

 

 

 

下午

1400

|

1700

1300-1730

/10實驗室一般訓練(應力109)

 

1330-1530

4/11卓越大樓

安全訓練

 

 

E-beam

Evaporator(應力)

4/6 訓練:

4/13 檢定:

Dicing Saw

(應力)

4/7訓練

4/14檢定

PECVD(卓越)

4/17 訓練

4/24檢定

Parylene(應力)

4/18訓練

4/25檢定

 

Sputter(卓越)

4/20訓練

4/27檢定

Karl Suss Aligner MA6(卓越)

4/21訓練

4/28檢定

O2 Plasma +Box Furnace(應力)

4/17訓練

4/24檢定

ICP-RIE(卓越)

(SAMCO)

4/18訓練

4/25檢定