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奈米機電系統研究中心

中心公告

03月份無塵室訓檢課程時間表(2/20 10:30開始接受報名)
  • 發布單位:奈米機電系統研究中心

三月奈米機電系統研究中心儀器訓練/檢定課程表   (地點:應力所/卓越大樓無塵室)

 

節次

 

 

時間

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

上午

09:30

|

12:30

Karl Suss Aligner MA8

(卓越)

03/13訓練

03/20檢定

RIE介電材料

(卓越)

03/14訓練

02/21檢定

Spin Coater

(應力)

03/15訓練

03/22檢定

SEM+EDS

(卓越)

03/09訓練

03/16檢定

新Sputter

(應力)

03/10訓練

03/17檢定

雷射共軛焦顯微鏡

(卓越)

03/20訓練

03/27檢定

Karl Suss Aligner MA6

(卓越)

03/14訓練

03/21檢定

 

 

Probe-Type Surface Analyser

(應力)

03/16訓練

03/23檢定

EVG Aligner

(應力)

03/17 訓練

03/24 檢定

 

RIE光阻材料

(卓越)

03/14訓練

02/21檢定

 

Oxford ICP-RIE

(卓越)

03/23訓練

03/30檢定

橢偏儀

(卓越)

03/24 訓練

03/31 檢定

 

 

 

RTA

(卓越)

03/23訓練

03/30檢定

 

 

 

 

 

 

 

下午

14:00

|

17:00

13:00-17:30

03/06實驗室一般訓練

(應力109室)

13:00-15:30

03/07卓越大樓

安全訓練

E-Gun氧化物及金屬

(卓越)

03/15訓練

03/22檢定

E-beam evaporator

(應力)

03/09 訓練

03/16 檢定

新Dicing Saw

(應力)

03/10訓練

03/17檢定

PECVD

(卓越)

03/13訓練

03/20檢定

Parylene

(應力)

03/14 訓練

03/21 檢定

Spin Coater

(卓越)

03/15訓練

03/22檢定

Sputter

(卓越)

03/23訓練

03/30檢定

 

 

ICP-RIE (SAMCO)

(卓越)

03/21 訓練

03/28 檢定

O2 Plasma +Box Furnace

(應力)

03/15 訓練

03/22 檢定