一月奈米機電系統研究中心儀器訓練/檢定課程表 (地點：應力所/卓越大樓無塵室)
因應使用者需求，一月份開立幾堂熱門課程，請多加把握！
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節次
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時間
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一
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二
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三
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四
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五
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上午
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09：30
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12：30
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Karl Suss Aligner MA8
(卓越)
01/09訓練
01/16檢定
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SEM+EDS
(卓越)
01/05訓練
01/12檢定
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Probe-Type Surface Analyser
(應力)
01/05訓練
01/12檢定
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下午
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14：00
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17：00
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Spin Coater
(卓越)
01/09訓練
01/16檢定
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13：00-17：30
01/03實驗室一般訓練
(應力213室)
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新Dicing Saw
(應力)
01/06訓練
01/13檢定
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PECVD
(卓越)
01/09訓練
01/16檢定
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E-Gun氧化物及金屬
(卓越)
01/10訓練
01/17檢定
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