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奈米機電系統中心_英文版

RIE(反應離子蝕刻機)-應力所

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RIE(反應離子蝕刻機)-應力所

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RIE(反應離子蝕刻機)【設備簡介】

廠牌與型號 :

SAMCO RIE-10N

設備管理人:

吳政儒
Art editor Img

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設備位置:

應力所無塵室爐管室

 

-訓檢及使用費用-

收費項目

學術單位

營利機構

開課人數

 訓檢收費

訓練

檢定

訓練

檢定

 

 600元

600元

1,200元

1,200元

3~5人

 

 

收費項目

校內/學術單位

營利機構

 備註

儀器使用費

750+30元/分

(即開機費750元)

1,500+60元/分

(即開機費1,500元)

 氣體價格:1sccm約為scc0.01元

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Tel：02-3366-5063，02-3366-5064

Fax：02-2364-3894

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Technical Services：nemstech@mail.nems.ntu.edu.tw

Address : No. 1, Sec. 4, Roosevelt Rd., Taipei 10617, Taiwan (R.O.C.), Room 200, Graduate Institute of Applied Mechanics, NTU 

 

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Last Updated

2024-11-13