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PECVD 電漿輔助化學氣相沉積系統 -卓越大樓

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PECVD 電漿輔助化學氣相沉積系統 -卓越大樓

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PECVD 電漿輔助化學氣相沉積系統【設備簡介】

廠牌與型號 :

 

設備管理人:

吳政儒
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設備位置:

卓越無塵室爐管室

 

-訓檢及使用費用-

收費項目

學術單位

營利機構

開課人數

 訓檢收費

訓練

檢定

訓練

檢定

 

 1,080元

 1,080元

2,160元

2,160元

3~5人

 

 

收費項目

校內/學術單位

營利機構

儀器使用費

 600+30元/分
 (即開機費600元)		 1,200+60元/分
 (即開機費1,200元)

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Tel：02-3366-5063，02-3366-5064

Fax：02-2364-3894

E-mail：nems@mail.nems.ntu.edu.tw 

Technical Services：nemstech@mail.nems.ntu.edu.tw

Address : No. 1, Sec. 4, Roosevelt Rd., Taipei 10617, Taiwan (R.O.C.), Room 200, Graduate Institute of Applied Mechanics, NTU 

 

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Last Updated

2024-11-13