LPCVD 低壓化學氣相沉積系統【設備簡介】
廠牌與型號 :
設備管理人:
吳政儒
設備位置:
卓越無塵室爐管室
-訓檢及使用費用-
收費項目
學術單位
營利機構
開課人數
訓檢收費
訓練
檢定
不開放自行操作
校內/學術單位
儀器使用費
1,000+18-36元/分(即開機費1,000元；依材料)
2,000+36-72元/分(即開機費2,000元；依材料)