Sputter(濺鍍機)【設備簡介】
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廠牌與型號 :
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設備管理人:
黃詩淳
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設備位置:
卓越無塵室薄膜區
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-訓檢及使用費用-
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收費項目
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學術單位
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營利機構
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開課人數
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訓檢收費
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訓練
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檢定
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訓練
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檢定
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720元
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720元
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1,440元
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1,440元
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3~5人
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收費項目
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校內/學術單位
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營利機構
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儀器使用費
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抽真空不計費，電漿開啟30分鐘內520元;
超過30分鐘: 520+15元/分
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抽真空不計費，電漿開啟30分鐘內1,040元;
超過30分鐘: 1,040+30元/分
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新濺鍍原之靶材拆裝教學：
1.靶材安裝 https://youtu.be/titp_llDNJ0
2.相關工具介紹 https://youtu.be/LI5TvrkN_Po