ICP-RIE(Oxford)多材料蝕刻-電感耦合電漿蝕刻機【設備簡介】
廠牌與型號 :
設備管理人:
吳政儒
設備位置:
卓越無塵室蝕刻室
-訓檢及使用費用-
收費項目
學術單位
營利機構
開課人數
訓檢收費
訓練
檢定
1,080元
2,160元
3~5人
校內/學術單位
儀器使用費
240(前5分鐘免費)+72元/分
(即開機費240元)
480(前5分鐘免費)+144元/分
(即開機費480元)
