國立臺灣大學 National Taiwan University

半導體製程重點技術平台
奈米機電系統研究中心 ✕ 半導體製程及系統研究中心

Nano-Electro-Menchanical-Systems (NEMS) Research Center

Center for Semiconductor Processing and Systems Research (SPSR)

委託操作服務系統

Service Request Platform

如何申請

How to Request

  1. 註冊付款人/ Register as Payer

    學術界 : 請教授申請付款人帳號
    產業界 : 請主管申請付款人帳號

    Academia: Faculty members please register the payer account for billing contact and authorized users approval
    Industry: Supervisors/Managers please register the payer account for billing contact and authorized users approval

    前往註冊Register
  2. 註冊成為委託人/ Register as Authorized User

    學術界 : 請學生/研究助理申請委託人帳號
    產業界 : 請工程師申請委託人帳號

    Academia: Students/Research Assistants please register the authorized user account under the PI's account.
    Industry: Engineers please register the authorized user account under the supervisor/manager's account.

    前往註冊Register
  3. 填寫委託申請表/Log in to Submit Request

    委託人規劃製程後,選擇設備並填寫製程需求。
    請先聯絡工程師確認製程可行性
    **卓越、應力無塵室請分開下委託單**

    Select the required tools and fill out the processing requirements respectively. Prior to submitting the request, please contact our staff in advance via to confirm the feasibility and requirements of your requests.

  4. 回簽報價單、付款證明/ Review and Approve Quotation and Provide Proof of Payment

    簽名回傳報價單、匯款並上傳證明後,可安排製程。(報價單有效期限2周)

    Upon review and approval of the request, a quotation will be issued. Quotations are valid for 2 weeks.The requester must sign and return the quotation, and submit proof of payment before the request can be scheduled and processed.

  5. 委託完成/Service Completed and Delivered

    收據、成品或報告交付。

    Deliverables (e.g., receipts, fabricated items, or reports) will be provided upon completion.

注意事項

Notifications

委託操作服務條款

  1. 責任限制本中心僅依雙方協議之製程內容進行委託操作,對於最終實驗結果之品質、性能或適用性,不作任何明示或默示之保證。
  2. 急件收費標準

    陪同代工(指定日期)、5個工作天內完成,以上視為急件,儀器操作費以2倍計算。

    *視儀器及排程狀況,中心保留最終解釋權。

  3. 陪同人員規範

    陪同代工人員以 二人為限,並須另行繳納無塵室使用費。陪同人員應嚴格遵守智慧財產權規範,若有未經允許抄錄、複製或擷取實驗參數及相關資料之行為,委託人與行為人應負法律全責。

  4. 退費與抵用規定

    所有委託操作收費一經簽名確認後,合約成立,概不予退費。若因不可抗力如機臺損壞等因素,得於日後委託服務時抵用。

  5. 自2026/3/15之後停止卓越E-Beam Metal/Oxide的代工委託,預計同年十月後再開放。

  6. 自2026/2/10之後停止卓越PECVD的代工委託,預計同年十月後再開放。


此系統為[國立臺灣大學 奈米機電系統研究中心]和[國立臺灣大學 重點科技研究學院半導體中心晶創重點設備]共同維護

報價單將依照兩中心之儀器分開報價