儀器訓練暨檢定收費標準(原價)
(最新優惠價)儀器訓練暨檢定收費標準(2018年2月1日起適用)
收費項目 |
學術單位 |
營利機構 |
備註 |
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訓練 |
檢定 |
訓練 |
檢定 |
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無塵室一般訓練 |
300元 |
600元 |
10人開課 |
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黃光室 |
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Spin Coater |
600元 |
600元 |
1,200元 |
1,200元 |
3人~5人 |
(多段式、兩段式光阻旋轉塗佈機) |
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Karl Suss Aligner MA8 |
600元 |
600元 |
1,200元 |
1,200元 |
3人~5人 |
(6吋單面對準曝光機) |
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Karl Suss Aligner MA6 |
600元 |
600元 |
1,200元 |
1,200元 |
3人~5人 |
(雙面對準曝光機) |
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Substrate Bonder |
600元 |
600元 |
1,200元 |
1,200元 |
3人~5人 |
(晶片接合機) |
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Laser Pattern Generator |
不開放自行操作 |
不開放自行操作 |
不開放自行操作 |
不開放自行操作 |
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(雷射光罩製作系統) |
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爐管區 |
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APCVD |
不開放自行操作 |
不開放自行操作 |
不開放自行操作 |
不開放自行操作 |
3人~5人 |
LPCVD |
不開放自行操作 |
不開放自行操作 |
不開放自行操作 |
不開放自行操作 |
3人~5人 |
PECVD |
600元 |
600元 |
1,200元 |
1,200元 |
3人~5人 |
(電漿輔助化學氣相沉積系統) |
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蝕刻區 |
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矽蝕刻-電感耦合電漿蝕刻機 |
600元 |
600元 |
1,200元 |
1,200元 |
3人~5人 |
ICP-RIE(SAMCO) |
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多材料蝕刻-電感耦合電漿蝕刻機 |
600元 |
600元 |
1,200元 |
1,200元 |
3人~5人 |
ICP-RIE(Oxford) |
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RIE(反應離子蝕刻機) |
600元 |
600元 |
1,200元 |
1,200元 |
3人~5人 |
RIE(Oxford) |
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RIE介電材料 |
600元 |
600元 |
1,200元 |
1,200元 |
3人~5人 |
RIE光阻材料 |
600元 |
600元 |
1,200元 |
1,200元 |
3人~5人 |
RTA(快速退火爐) |
600元 |
600元 |
1,200元 |
1,200元 |
3人~5人 |
薄膜區 |
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E-beam Evaporator Metal major |
600元 |
600元 |
1,200元 |
1,200元 |
3人~5人 |
(電子束蒸鍍機-金屬) |
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E-beam Evaporator Oxide major |
600元 |
600元 |
1,200元 |
1,200元 |
3人~5人 |
(電子束蒸鍍機-氧化物) |
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Sputter(射頻濺鍍機) |
600元 |
600元 |
1,200元 |
1,200元 |
3人~5人 |
分析區 |
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SEM(掃描式電子顯微鏡) |
600元 |
600元 |
1,200元 |
1,200元 |
3人~5人 |
EDS |
600元 |
600元 |
1,200元 |
1,200元 |
3人~5人 |
Sputter Coater(SEM鍍金機) |
600元 |
600元 |
1,200元 |
1,200元 |
3人~5人 |
表面輪廓儀 |
600元 |
600元 |
1,200元 |
1,200元 |
3人~5人 |
雷射共軛聚焦顯微鏡 |
600元 |
600元 |
1,200元 |
1,200元 |
3人~5人 |
橢圓儀 |
600元 |
600元 |
1,200元 |
1,200元 |
3人~5人 |
半導體參數分析儀 |
600元 |
600元 |
1,200元 |
1,200元 |
3人~5人 |
(最新優惠價)儀器使用費列表(2018年2月1日起適用)
| 收費項目 | 校內學術單位 | 營利機構 | 備註 |
| 潔淨室 | 3元/分 | 6元/分 | |
| 黃光區 | |||
| Spin Coater | 3元/分 | 6元/分 | |
| (多段式、兩段式光阻旋轉塗佈機) | |||
| Karl Suss Aligner MA8 | 350(前30分鐘不計費)+9元/分 | 700+18元/分 | |
| (6吋單面對準曝光機) | (即開機費350元) | (即開機費700元) | |
| Karl Suss Aligner MA6 | 350(前30分鐘不計費)+9元/分 | 700+18元/分 | |
| (雙面對準曝光機) | (即開機費350元) | (即開機費700元) | |
| Substrate Bonder | 60分鐘內425元; | 60分鐘內850元; | |
| (晶片接合機) | 超過60分鐘:425+5元/分 | 超過60分鐘:850+10元/分 | |
| Laser Pattern Generator | 7000元 六吋 | 14,000元 六吋 | |
| (雷射光罩製作系統) | 5000元 五吋 | 10,000元 五吋 | |
| 4500元 四吋 | 9,000元 四吋 | ||
| 500元(審圖費/小時) | 1,000元(審圖費/小時) | ||
| 爐管區 | |||
| APCVD | 1,000+18-20元/分(即開機費1,000元；依材料) | 2,000+36-40元/分(即開機費2,000元；依材料) | (未開放使用) |
| LPCVD | 1,000+18-36元/分(即開機費1,000元；依材料) | 2,000+36-72元/分(即開機費2,000元；依材料) | (未開放使用) |
| PECVD | 500+25元/分 | 1,000+50元/分 | |
| (電漿輔助化學氣相沉積系統) | (即開機費500元) | (即開機費1,000元) | |
| 蝕刻區 | |||
| 矽蝕刻-電感耦合電漿蝕刻機 | 200(前5分鐘免費)+60元/分 | 400(前5分鐘免費)+120元/分 | |
| ICP-RIE(SAMCO) | (即開機費200元) | (即開機費400元) | |
| 多材料蝕刻-電感耦合電漿蝕刻機 | 200+30元/分 | 400+60元/分 | |
| ICP-RIE(Oxford) | (即開機費200元) | (即開機費400元) | |
| RIE(反應離子蝕刻機) | 200+30元/分 | 400+60元/分 | |
| RIE(Oxford) | (即開機費200元) | (即開機費400元) | |
| RIE介電材料 | 200+30元/分 | 400+60元/分 | |
| (即開機費200元) | (即開機費400元) | ||
| RIE光阻材料 | 200+30元/分 | 400+60元/分 | |
| (即開機費200元) | (即開機費400元) | ||
| RTA(快速退火爐) | 120分鐘內750元；超過120分鐘:750+5元/分 | 120分鐘內1,500元；超過120分鐘:1,500+10元/分 | |
| 薄膜區 | |||
| E-beam Evaporator Metal major | 抽真空不計費，電子束開啟30分鐘內520元; | 抽真空不計費，電子束開啟30分鐘內1,040元; | |
| (電子束蒸鍍機-金屬) | 超過30分鐘: 520+6元/分 | 超過30分鐘: 1,040+12元/分 | |
| E-beam Evaporator Oxide major | 抽真空不計費，電子束開啟30分鐘內520元; | 抽真空不計費，電子束開啟30分鐘內1,040元; | |
| (電子束蒸鍍機-氧化物) | 超過30分鐘: 520+6元/分 | 超過30分鐘: 1,040+12元/分 | |
| Sputter(射頻濺鍍機) | 抽真空不計費，電漿開啟30分鐘內520元; | 抽真空不計費，電漿開啟30分鐘內1,040元; | |
| 超過30分鐘: 520+15元/分 | 超過30分鐘: 1,040+30元/分 | ||
| 分析區 | |||
| SEM(掃描式電子顯微鏡) | 60分鐘內600元;超過60分鐘:600+300元/30分 | 60分鐘內1,200元;超過60分鐘:1,200+600元/30分 | |
| EDS | 200元/30分 | 400元/30分 | |
| Sputter Coater(SEM鍍金機) | 250元/30分 | 500元/30分 | |
| 表面輪廓儀 | 6元/分 | 12元/分 | |
| 雷射共軛聚焦顯微鏡 | 6元/分 | 12元/分 | |
| 橢圓儀 | 6元/分 | 12元/分 | |
| 半導體參數分析儀 | 6元/分 | 12元/分 | |