卓越大樓無塵室設備收費標準

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  儀器訓練暨檢定收費標準(原價)

(最新優惠價)儀器訓練暨檢定收費標準(2019年4月1日起適用) 

                      收費項目
         學術單位
         營利機構
   備註
 
訓練
檢定
訓練
檢定
 
 卓越大樓實驗室安全訓練
優惠期間,不收費
優惠期間,不收費
10人開課
                                                  黃光室
Spin Coater
720元
720元
1,440元
1,440元
2人~5人
(多段式、兩段式光阻旋轉塗佈機)
Karl Suss Aligner MA8
720元
720元
1,440元
1,440元
2人~5人
(6吋單面對準曝光機)
Karl Suss Aligner MA6
720元
720元
1,440元
1,440元
2人~5人
(雙面對準曝光機)
Substrate Bonder
720元
720元
1,440元
1,440元
2人~5人
(晶片接合機)
Laser Pattern Generator
不開放自行操作
不開放自行操作
不開放自行操作
不開放自行操作
 
(雷射光罩製作系統)
                                                      爐管區
APCVD
不開放自行操作
不開放自行操作
不開放自行操作
不開放自行操作
 
LPCVD
不開放自行操作
不開放自行操作
不開放自行操作
不開放自行操作
 
PECVD 
720元
720元
1,440元
1,440元
2人~5人
(電漿輔助化學氣相沉積系統)
                                                 蝕刻區
矽蝕刻-電感耦合電漿蝕刻機
720元
720元
1,440元
1,440元
2人~5人
ICP-RIE(SAMCO)
多材料蝕刻-電感耦合電漿蝕刻機
720元
720元
1,440元
1,440元
2人~5人
ICP-RIE(Oxford)
RIE(反應離子蝕刻機)
720元
720元
1,440元
1,440元
2人~5人
RIE(Oxford)
RIE介電材料
720元
720元
1,440元
1,440元
2人~5人
RIE光阻材料
720元
720元
1,440元
1,440元
2人~5人
RTA(快速退火爐)
720元
720元
1,440元
1,440元
2人~5人
                                                  薄膜區
E-beam Evaporator Metal major
720元
720元
1,440元
1,440元
2人~5人
(電子束蒸鍍機-金屬)
E-beam Evaporator Oxide major
720元
720元
1,440元
1,440元
2人~5人
(電子束蒸鍍機-氧化物)
Sputter(射頻濺鍍機) 
720元
720元
1,440元
1,440元
2人~5人
                                                 分析區
SEM(掃描式電子顯微鏡)
720元
720元
1,440元
1,440元
2人~5人
EDS
720元
720元
1,440元
1,440元
2人~5人
Sputter Coater(SEM鍍金機)
720元
720元
1,440元
1,440元
2人~5人
表面輪廓儀
720元
720元
1,440元
1,440元
2人~5人
雷射共軛聚焦顯微鏡
720元
720元
1,440元
1,440元
2人~5人
橢圓儀
720元
720元
1,440元
1,440元
2人~5人
半導體參數分析儀
720元
720元
1,440元
1,440元
2人~5人

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

             儀器使用費列表 (原價)

(最新優惠價)儀器使用費列表(2019年3月1日起適用) 
收費項目 校內/學術單位 營利機構 備註
潔淨室 3/ 6/  
黃光區
Spin Coater 4/ 8/  
(多段式、兩段式光阻旋轉塗佈機)
Karl Suss Aligner MA8 420(30分鐘不計費)+11/ 840+22/  
(6吋單面對準曝光機) (即開機費420) (即開機費840)
Karl Suss Aligner MA6 420(30分鐘不計費)+11/ 840+22/  
(雙面對準曝光機) (即開機費420) (即開機費840)
Substrate Bonder 60分鐘內510; 60分鐘內1,020;  
(晶片接合機) 超過60分鐘:510+6/ 超過60分鐘:1,020+12/
Laser Pattern Generator 8,400 六吋 16,800 六吋 特殊使用:
(雷射光罩製作系統) 6,000 五吋 12,000 五吋 學界:250/分;業界:500/
  5,400 四吋 10,800 四吋
  600(審圖費/小時) 1,200(審圖費/小時)  
爐管區
APCVD 1,000+18-20/(即開機費1,000元;依材料) 2,000+36-40/(即開機費2,000元;依材料) (未開放使用)
LPCVD 1,000+18-36/(即開機費1,000元;依材料) 2,000+36-72/(即開機費2,000元;依材料) (未開放使用)
PECVD  600+30/ 1,200+60/  
(電漿輔助化學氣相沉積系統)  (即開機費600)  (即開機費1,200)
蝕刻區
矽蝕刻-電感耦合電漿蝕刻機 240(5分鐘免費)+72/ 480(5分鐘免費)+144/  
ICP-RIE(SAMCO)  (即開機費240)  (即開機費480)
多材料蝕刻-電感耦合電漿蝕刻機 240(5分鐘免費)+72/ 480(5分鐘免費)+144/  
ICP-RIE(Oxford)  (即開機費240)  (即開機費480)
RIE(反應離子蝕刻機) 240+36/ 480+72/  
RIE(Oxford)  (即開機費240)  (即開機費480)
RIE介電材料 240+36/ 480+72/  
 (即開機費240)  (即開機費480)
RIE光阻材料 240+36/ 480+72/  
 (即開機費240)  (即開機費480)
RTA(快速退火爐) 120分鐘內900元;超過120分鐘:900+6/ 120分鐘內1,800元;超過120分鐘:1,800+12/  
薄膜區
E-beam Evaporator Metal major 抽真空不計費,電子束開啟30分鐘內624; 抽真空不計費,電子束開啟30分鐘內1,248;  
(電子束蒸鍍機-金屬) 超過30分鐘: 624+7/ 超過30分鐘: 1,248+14/
E-beam Evaporator Oxide major 抽真空不計費,電子束開啟30分鐘內624; 抽真空不計費,電子束開啟30分鐘內1,248;  
(電子束蒸鍍機-氧化物) 超過30分鐘: 624+7/ 超過30分鐘: 1,248+14/
Sputter(射頻濺鍍機)  抽真空不計費,電漿開啟30分鐘內624; 抽真空不計費,電漿開啟30分鐘內1,248;  
超過30分鐘: 624+18/ 超過30分鐘: 1,248+36/
分析區
SEM(掃描式電子顯微鏡) 60分鐘內720;超過60分鐘:720+360/30 60分鐘內1,440;超過60分鐘:1,440+720/30 不足30分鐘以30分鐘計算
EDS 240/30 480/30 不足30分鐘以30分鐘計算
Sputter Coater(SEM鍍金機) 300/30 600/30 不足30分鐘以30分鐘計算
表面輪廓儀 7/ 14/  
雷射共軛聚焦顯微鏡 7/ 14/  
橢圓儀 7/ 14/  
半導體參數分析儀 7/ 14/