卓越大樓無塵室設備收費標準

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  儀器訓練暨檢定收費標準(原價)

(最新優惠價)儀器訓練暨檢定收費標準(2019年4月1日起適用) 

                      收費項目
         學術單位
         營利機構
   備註
 
訓練
檢定
訓練
檢定
 
 卓越大樓實驗室安全訓練
優惠期間,不收費
優惠期間,不收費
10人開課
                                                  黃光室
Spin Coater
720元
720元
1,440元
1,440元
2人~5人
(多段式、兩段式光阻旋轉塗佈機)
Karl Suss Aligner MA8
720元
720元
1,440元
1,440元
2人~5人
(6吋單面對準曝光機)
Karl Suss Aligner MA6
720元
720元
1,440元
1,440元
2人~5人
(雙面對準曝光機)
Substrate Bonder
720元
720元
1,440元
1,440元
2人~5人
(晶片接合機)
Laser Pattern Generator
不開放自行操作
不開放自行操作
不開放自行操作
不開放自行操作
 
(雷射光罩製作系統)
                                                      爐管區
APCVD
不開放自行操作
不開放自行操作
不開放自行操作
不開放自行操作
 
LPCVD
不開放自行操作
不開放自行操作
不開放自行操作
不開放自行操作
 
PECVD 
1,080元
1,080元
2,160元
2,160元
2人~5人
(電漿輔助化學氣相沉積系統)
                                                 蝕刻區
矽蝕刻-電感耦合電漿蝕刻機
1,080元
1,080元
2,160元
2,160元
2人~5人
ICP-RIE(SAMCO)
多材料蝕刻-電感耦合電漿蝕刻機
1,080元
1,080元
2,160元
2,160元
2人~5人
ICP-RIE(Oxford)
RIE(反應離子蝕刻機)
1,080元
1,080元
2,160元
2,160元
2人~5人
RIE(Oxford)
RIE介電材料
720元
720元
1,440元
1,440元
2人~5人
RIE光阻材料
720元
720元
1,440元
1,440元
2人~5人
RTA(快速退火爐)
720元
720元
1,440元
1,440元
2人~5人
                                                  薄膜區
E-beam Evaporator Metal major
720元
720元
1,440元
1,440元
2人~5人
(電子束蒸鍍機-金屬)
E-beam Evaporator Oxide major
720元
720元
1,440元
1,440元
2人~5人
(電子束蒸鍍機-氧化物)
Sputter(射頻濺鍍機) 
720元
720元
1,440元
1,440元
2人~5人
                                                 分析區
SEM(掃描式電子顯微鏡)
1,080元
1,080元
2,160元
2,160元
2人~5人
EDS
1,080元
1,080元
2,160元
2,160元
2人~5人
Sputter Coater(SEM鍍金機)
720元
720元
1,440元
1,440元
2人~5人
表面輪廓儀
720元
720元
1,440元
1,440元
2人~5人
雷射共軛聚焦顯微鏡
720元
720元
1,440元
1,440元
2人~5人
橢圓儀
720元
720元
1,440元
1,440元
2人~5人
半導體參數分析儀
720元
720元
1,440元
1,440元
2人~5人

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

以上為中心每月排定課程費用;若為其他時段之加開課程需加16.7%(課程人數需符合中心最低開課人數之規定)

 

儀器使用費列表 (原價)

(最新優惠價)儀器自行操作列表(2019年6月1日起適用) 

收費項目

校內/學術單位

營利機構

備註

潔淨室

3/

6/

 

化學藥品使用

600/

1200/

 

黃光區

Spin Coater

3/

6/

 

(多段式、兩段式光阻旋轉塗佈機)

Karl Suss Aligner MA8

420(30分鐘不計費)+11/

840+22/

 

(6吋單面對準曝光機)

(即開機費420)

(即開機費840)

Karl Suss Aligner MA6

350(30分鐘不計費)+9/

700(30分鐘不計費)+18/

 

(雙面對準曝光機)

(即開機費350)

(即開機費700)

Substrate Bonder

60分鐘內510;

60分鐘內1,020;

 

(晶片接合機)

超過60分鐘:510+6/

超過60分鐘:1,020+12/

Laser Pattern Generator

8,400 六吋

16,800 六吋

特殊使用:

(雷射光罩製作系統)

6,000 五吋

12,000 五吋

學界:250/分;業界:500/

 

5,400 四吋

10,800 四吋

 

600(審圖費/小時)

1,200(審圖費/小時)

 

爐管區

APCVD

1,000+18-20/(即開機費1,000元;依材料)

2,000+36-40/(即開機費2,000元;依材料)

(未開放使用)

LPCVD

1,000+18-36/(即開機費1,000元;依材料)

2,000+36-72/(即開機費2,000元;依材料)

(未開放使用)

PECVD 

600+30/

1,200+60/

 

(電漿輔助化學氣相沉積系統)

 (即開機費600)

 (即開機費1,200)

蝕刻區

矽蝕刻-電感耦合電漿蝕刻機

240(5分鐘免費)+72/

480(5分鐘免費)+144/

 

ICP-RIE(SAMCO)

 (即開機費240)

 (即開機費480)

多材料蝕刻-電感耦合電漿蝕刻機

240(5分鐘免費)+72/

480(5分鐘免費)+144/

 

ICP-RIE(Oxford)

 (即開機費240)

 (即開機費480)

RIE(反應離子蝕刻機)

240+72/

480+144/

 

RIE(Oxford)

 (即開機費240)

 (即開機費480)

RIE介電材料

200+30/

400+60/

 

 (即開機費200)

 (即開機費400)

RIE光阻材料

240+36/

480+72/

 

 (即開機費240)

 (即開機費480)

RTA(快速退火爐)

120分鐘內900元;超過120分鐘:900+6/

120分鐘內1,800元;超過120分鐘:1,800+12/

 

薄膜區

E-beam Evaporator Metal major

抽真空不計費,電子束開啟30分鐘內520;

抽真空不計費,電子束開啟30分鐘內1,040;

 

(電子束蒸鍍機-金屬)

超過30分鐘: 520+6/

超過30分鐘: 1,040+12/

E-beam Evaporator Oxide major

抽真空不計費,電子束開啟30分鐘內520;

抽真空不計費,電子束開啟30分鐘內1,040;

 

(電子束蒸鍍機-氧化物)

超過30分鐘: 520+6/

超過30分鐘: 1,040+12/

Sputter(射頻濺鍍機

抽真空不計費,電漿開啟30分鐘內520;

抽真空不計費,電漿開啟30分鐘內1,040;

 

超過30分鐘: 520+15/

超過30分鐘: 1,040+30/

分析區

SEM(掃描式電子顯微鏡)

60分鐘內720;超過60分鐘:720+360/30

60分鐘內1,440;超過60分鐘:1,440+720/30

不足30分鐘以30分鐘計算

EDS

240/30

480/30

不足30分鐘以30分鐘計算

Sputter Coater(SEM鍍金機)

300/30

600/30

不足30分鐘以30分鐘計算

表面輪廓儀

7/

14/

 

雷射共軛聚焦顯微鏡

7/

14/

 

橢圓儀

7/

14/

 

半導體參數分析儀

7/

14/

 

 

以上為自行操作之儀器使用費;若為委託中心人員代為操作需要「乘以」1.2(學校管理費)

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