• 訊息類別:
    中心公告
  • 發佈時間:
    2015-09-30
  • 訊息標題:
    RIE製程協助公告

    因配合卓越大樓無塵室施工進度,中心已將RIE等設備搬移至新無塵室, 須等新大樓無塵室完工後方可復機。為避免影響學生實驗過久, 特別感謝電機系胡振國毛明華老師協助, 於特定時段開放電機系RIE 支援中心使用者。

    需使用RIE進行製程者, 請先至辦公室填寫預約表,統一 於下一周星期一上午由中心工程師至電機系操作RIE協助製程(費率以使用者自行操作計費 ),之後再至中心取回試片即可。若有任何問題,歡迎隨時與中心連絡。

     

    奈米機電系統研究中心 敬啟