• 訊息類別:
    活動回顧
  • 發佈時間:
    2015-08-17
  • 訊息標題:
    日本東北大學田中秀治教授參訪中心無塵室

    日本東北大學田中秀治教授應第19屆奈米工程暨微系統技術研討會邀請,前來台灣進行為期三天的學術交流,在今天演講結束後蒞臨奈米機電系統研究中心參訪,藉此機會與田中教授請教製程技術以及實驗室管理與建置相關問題,田中教授提出三點建議:1薄膜設備必須有所區分以提高鍍膜品質。2.Bonder機台對於微機電元件相當重要,進行矽的Fusion, anodic和eutectic接合。3.對於薄膜的殘餘應力要確實掌握,這對於製程相當重要。此外,對於本中心提供QR code利用手機查看操作手冊的服務(由中心張勤煜博士所建立)相當稱讚。

    P.S.關於田中教授的第一與第二點建議,在中心遷移至水源校區卓越研究大樓後就會有相關的設備提供了,請敬請期待!