• 訊息類別:
    中心公告
  • 發佈時間:
    2015-06-26
  • 訊息標題:
    無塵室設備搬移公告

    因配合卓越大樓無塵室施工進度,同時考量降低同學們實驗的衝擊,中心必須分三批搬移設備,前兩批規劃進度如下:

    2015/06/30(二) 17:00關 E-Beam (Oxide)

    2015/07/09(四) 17:00關 SAMCO ICP、RIE

    具體復機時間需等卓越研究大樓無塵室完工,經校方同意開放後方可使用(預估10月份後)。如有不便,敬請見諒。

     

    奈米機電系統研究中心 敬啟