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應用於製程中之光罩圖形轉移,進行各種元件圖型之對準曝光

 廠牌型號  Karl Suss MA6/BA6
光罩/試片尺寸 5”/4” (直徑)
曝光模式 contact noncontact
Lamp Hg 350W/S DC
Light Sensor 365nm~405nm

特點

l   可進行精準對位

l   可進行正面及背對準曝光

l   解析度最高達1um