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 廠牌型號

Hitachi (S-4800) 益弘代理

最大倍率 800 K
高解析度 1nm
試片最大尺寸 100 mm (直徑)
Tilt -5o~+70o
Rotation 360o

特點

l   量測非導體提供快速鍍金服務

l   可進行高深寬比量測

l   可對試片進行俯視、側視及斜向觀察