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可沉積材Parylene C N型之化學氣相沉積系統

 廠牌型號 拉奇-LH300
腔體載具 可放置612吋晶圓

應用

l   電子元件封裝、絕緣層

 

l   文物保存、醫療用品、各類材質(金屬、高分子)產品表面保護

特點

l   奈米單體分子聚合:氣相沉積,具良好批覆效果,低氣體滲透性

l   穩定的化學特性:耐腐蝕、抗酸鹼、耐有機溶劑、防鹽霧、耐霉抑菌

l   優異的溫度穩定性

l   透明、高絕緣、低摩擦係數、生物相容性