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以電子束撞擊、加熱靶材的方式蒸鍍不同材料薄膜於基板上

 廠牌型號  FULINTEC E-Gun
基材載具 4”X 5pcs
基材加熱器 Max. 300度C
膜厚計 量測精度 0.04 Å

特點

l   蒸鍍速率快、無污染

l   可精確控制溫度與鍍率

l   可進行熔點較高的金屬與氧化物蒸鍍

l   可能沉積許多新穎材料