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 廠牌型號

BMT WLILAB(白光干涉)

SMS(雷射共軛焦三朋代理

垂直量測精度 0.1nm
量測範圍 nm10mm
物鏡 10x20x50x
X-Y平台 電動量測平台 10 cm ×10 cm

特點

l   適用於MEMS、半導體、LCDLED Micro lens及生物晶片等微結構表面形狀及大面積表面3D輪廓量測

l   非接觸式量測微結構表面參數,如3D表面輪,粗糙度,膜厚,平面度等軟或黏性材料亦適用

l   掃瞄時間可設定

l   量測分析軟體WLILab可由中心網頁下載