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二維及三維表面輪廓、表面粗糙度量及薄膜應力分析

 廠牌型號 KOSAKA  ET4000 三朋代理
試片尺寸 4” (直徑)
X/Y軸量測 100mm/150mm

特點

l   具有精密真直度,提高再現性

l   採用直動式檢出器,無ARC誤差問題

l   測定再現性,1 Sigma 5 Å 以下

l   適合半導體100 Å ~100μm 薄膜段差量測

l   可測定微細表面輪廓形狀、斷差、粗糙度、應力分析等