重要公告：
為維持本中心使用者權益，
本中心將陸續移出【預計畢業時間為2009年的使用者註冊資料】，
並刪除進入本中心無塵室使用儀器之權限。
「預定刪除學員名單」請至左側【中心消息】→【中心公告】內檢示。

台大奈米機電系統研究中心 敬啟(2009/07/08)

課程講義

實驗室一般訓練 名稱 儀器介紹 使用指導書 (上課講義) 預防保養 其他 簽署公約   NMC-F-0001     實驗室一般守則   NMC-W-8002_web     黃光室 名稱 儀器介紹 使用指導書 (上課講義) 預防保養 其他 Chemical Hood(化學清洗槽) NMC-W-2008 NMC-W-2001-1 NMC-W-2009   Digital Camera(數位相機) NMC-W-1007 NMC-W-1008 NMC-W-1009   Double-Side Mask Aligner(雙面對準儀) NMC-W-1005-1 NMC-W-1001-2 NMC-W-1003   Laurell Spin Coater (光阻塗佈機)   NMC-W-1102     Hot Plate(加熱板) NMC-W-1020 NMC-W-1021     Microscope(金相顯微鏡) NMC-W-1006 NMC-W-1002-5     SUSS RC8 Spin Coater(光阻塗佈機) NMC-W-1015 NMC-W-1013 NMC-W-1014   Oven(烘箱) NMC-W-1017 NMC-W-1018     Top-Side Mask Aligner(單面對準儀)   NMC-W-1101     Ultrasonic Cleaners(超音波震洗機) NMC-W-1022 NMC-W-1023 NMC-W-1024   分析室 名稱 儀器介紹 使用指導書 (上課講義) 預防保養 其他 Probe-Type Surface Analyzer(探針式表面分析儀) NMC-W-4402 NMC-W-4401     Dicing Saw(晶圓精密切割機) NMC-W-4100 NMC-W-4102 NMC-W-4104_1   Optical-type surface analyser(干射暨雷射共軛焦表面分析儀)   NMC-W-4403     Probe Station(探針台)         Surface Profiler(表面輪廓儀) NMC-W-4002-1 NMC-W-4001-3 NMC-W-4003 損壞紀錄 (NMC-W-4005) Thin Film(薄膜量測儀) NMC-W-4020 NMC-W-4021     Wire Bonder(打線機) NMC-W-4010 NMC-W-4011 NMC-W-4012   AFM(原子力顯微鏡) NMC-W-4301 NMC-W-4302     蝕刻室 名稱 儀器介紹 使用指導書 (上課講義) 預防保養 其他 Chemical Hood(化學清洗槽) NMC-W-2008 NMC-W-2001-1 NMC-W-2009   Digital Hot Plate(電磁加熱攪拌器) NMC-W-2005 NMC-W-2006 NMC-W-2007   Digital Thermometer(數位溫度表) NMC-W-2002 NMC-W-2003 NMC-W-2004   爐管室 名稱 儀器介紹 使用指導書 (上課講義) 預防保養 其他 Box Furnace(高溫爐) NMC-W-3015 NMC-W-3016     E-beam Evaporator(電子槍蒸鍍機) NMC-W-3030 NMC-W-3031 NMC-W-3032b   ICP(電感耦合電漿蝕刻機 ) NMC-W-3050 硬體篇(NMC-W-3051-HD)     軟體篇(NMC-W-3051-SF)     一般操作篇(NMC-W-3051-OPG)     進階操作篇(NMC-W-3051-OPA)     Parylene deposition system(聚對二甲基苯沉積系統) NMC-W-3070 NMC-W-3071     PECVD(電漿輔助化學氣相沉積系統) NMC-W-3022 NMC-W-3023-web     RF Sputter(射頻濺鍍機) NMC-W-3008 NMC-W-3009 NMC-W-3010   RIE(反應離子蝕刻機) NMC-W-3004 NMC-W-3005-web NMC-W-3006   Thermal Evaporator(熱蒸鍍機) NMC-W-3011 NMC-W-3012     Newly E-beam evaporator (新式電子束蒸鍍機)   NMC-W-3060     機電室 名稱 儀器介紹 使用指導書 (上課講義) 預防保養 其他 Air Compressor(空壓機) NMC-W-5422       Air Conditioning(空調冷卻系統)   NMC-W-5112 NMC-W-5113   Direct Digital Controller(直接數位控制器)   NMC-W-5122     Gas suply System(製程氣體供氣系統)   NMC-W-5412     HF/ACID/ALKALI Effluent Drain Tank(HF/酸/鹼 廢液收集櫃) NMC-W-5311 NMC-W-5312 NMC-W-5313   Solvent Effluent Drain Tank(有機廢液收集櫃) NMC-W-5321 NMC-W-5322 NMC-W-5323   Vacuum Pump(真空設備) NMC-W-5432       Wasted Gas(廢氣處理系統) NMC-W-5211 NMC-W-5212 NMC-W-5213   Wasted Water(廢水處理系統) NMC-W-5331 NMC-W-5332 NMC-W-5333   系統分析室 名稱 儀器介紹 使用指導書 (上課講義) 預防保養 其他 ANSYS   NMC-W-9001     ANSYS   NMC-W-9002     ANSYS   NMC-W-9003     行政室 名稱   實驗室進入(參觀)申請表 NMC-F-0010