重要公告:
為維持本中心使用者權益,
本中心將陸續移出【預計畢業時間為2009年的使用者註冊資料】,
並刪除進入本中心無塵室使用儀器之權限。
「預定刪除學員名單」請至左側【中心消息】→【中心公告】內檢示。

台大奈米機電系統研究中心 敬啟(2009/07/08)
文件編號

分類總表

NMC-X-0000 行政室(Administrator Room)
NMC-X-1000 黃光室(Yellow Room)
NMC-X-2000 蝕刻室(Etching Room)
NMC-X-3000 爐管室(Furnace Room)
NMC-X-4000 分析室(Analyzing Room)
NMC-X-5000 機電室(Control Room)
NMC-X-6000 化學藥品(Chemical)
NMC-X-7000 廢棄物(Effluent)
NMC-X-8000 訓練課程(Training Course)
NMC-X-9000 系統設計室(System Design Room)

行政室:NMC-X-0000

NMC-P-0001 實驗室使用申請程序書
NMC-W-0000 文件規格指導書
NMC-W-0002 火災防護指導書
NMC-W-0003 地震防災指導書
NMC-W-0004 重要聯絡電話
NMC-W-0005 無塵室安全規則指導書
NMC-W-0006 化學災害緊急應變措施指導書
NMC-W-0007 收費標準指導書
NMC-W-0008 專屬式置物櫃使用收費指導書
NMC-W-0010 門禁管理辦法
NMC-W-0011 24小時使用無塵室申請書

黃光室:NMC-X-1000

NMC-W-1001 SUSS MA6/BA6 Mask Aligner使用指導書
NMC-W-1002 Olympus MX40 Microscope使用指導書
NMC-W-1003 SUSS MA6/BA6 Mask Aligner預防保養指導書
NMC-W-1004 SUSS MA6/BA6 Mask Aligner之電源供應器(CIC)使用指導書
NMC-W-1005 SUSS MA6/BA6 Mask Aligner介紹書
NMC-W-1006 Olympus MX40 Microscope介紹書
NMC-W-1007 Nikon COOLPIX950數位相機介紹書
NMC-W-1008 Nikon COOLPIX950數位相機使用指導書
NMC-W-1009 Nikon COOLPIX950數位相機預防保養指導書
NMC-W-1011 SUSS RC8 Spin Coater預防保養指導書
NMC-W-1012 SUSS RC8 Spin Coater使用指導書
NMC-W-1013 MODEL 6708D Spin Coater使用指導書
NMC-W-1014 MODEL 6708D Spin Coater預防保養指導書
NMC-W-1015 MODEL 6708D Spin Coater介紹書
NMC-W-1016 SUSS RC8 Spin Coater介紹書
NMC-W-1017 DYNG YNG DS45 Drying Oven介紹書
NMC-W-1018 DYNG YNG DS45 Drying Oven使用指導書
NMC-W-1020 CORNING PC-420 Stirrer/Hot Plate介紹書
NMC-W-1021 CORNING PC-420 Stirrer/Hot Plate使用指導書
NMC-W-1022 Ultrasonic Cleaners介紹書
NMC-W-1023 Ultrasonic Cleaners使用指導書
NMC-W-1024 Ultrasonic Cleaners預防保養指導書
NMC-W-1101 EVG 620 Mask Alinger使用指導書
NMC-W-1102 Laurell Spin Coater使用指導書

蝕刻室:NMC-X-2000

NMC-W-2001 化學清洗槽使用指導書
NMC-W-2002 數位溫度表TES-1310介紹書
NMC-W-2003 數位溫度表TES-1310使用指導書
NMC-W-2004 數位溫度表TES-1310保養作業指導書
NMC-W-2005 電磁加熱攪拌器721介紹書
NMC-W-2006 電磁加熱攪拌器721使用指導書
NMC-W-2007 電磁加熱攪拌器721保養作業指導書
NMC-W-2008 化學清洗槽介紹書
NMC-W-2009 化學清洗槽保養作業指導書

爐管室:NMC-X-3000

NMC-W-3004 RIE-10N反應離子蝕刻機介紹書
NMC-W-3005 RIE-10N反應離子蝕刻機使用指導書
NMC-W-3006 RIE-10N反應離子蝕刻機預防保養作業指導書
NMC-W-3008 ULVAC射頻濺鍍機介紹書
NMC-W-3009 ULVAC射頻濺鍍機使用指導書
NMC-W-3010 ULVAC射頻濺鍍機預防保養作業指導書
NMC-W-3011 DMC-500熱蒸鍍機介紹書
NMC-W-3012 DMC-500熱蒸鍍機使用指導書
NMC-W-3015 BF51442C高溫爐介紹書
NMC-W-3016 BF51442C高溫爐使用指導書
NMC-W-3022 SAMCPD-10ST電漿輔助化學氣相沉積系統介紹書
NMC-W-3023 SAMCPD-10ST電漿輔助化學氣相沉積系統使用指導書
NMC-W-3030 電子束蒸鍍機介紹書
NMC-W-3031 電子束蒸鍍機使用指導書
NMC-W-3032 電子束蒸鍍機預防保養作業指導書
NMC-W-3040 低壓化學氣相沉積系統儀器指導書
NMC-W-3040-AT 低壓化學氣相沉積系統代工申請表
NMC-W-3051-HD ICP電杆耦合電漿蝕刻機操作手冊-硬體篇
NMC-W-3051-SF ICP電杆耦合電漿蝕刻機操作手冊-軟體篇
NMC-W-3051-OP ICP電杆耦合電漿蝕刻機操作手冊-操作篇
NMC-W-3060 新式電子束蒸鍍機使用指導書
NMC-W-3070 聚對二甲基苯沉積系統介紹書
NMC-W-3071 聚對二甲基苯沉積系統使用指導書

分析室:NMC-X-4000

NMC-W-4001 Alpha-Step 500 Surface Profiler使用指導書
NMC-W-4002 Alpha-Step 500 Surface Profiler介紹書
NMC-W-4003 Alpha-Step 500 Surface Profiler預防保養作業指導書
NMC-W-4005 Alpha-Step 500 Surface Profiler損壞維修指導書
NMC-W-4010 SPB-U668銲線機介紹書
NMC-W-4011 SPB-U668銲線機使用指導書
NMC-W-4012 SPB-U668銲線機預防保養作業指導書
NMC-W-4020 薄膜量測儀儀器介紹書
NMC-W-4021 薄膜量測儀使用指導書
NMC-W-4301 AFM原子力顯微鏡介紹書
NMC-W-4302 AFM原子力顯微鏡使用指導書
NMC-W-4401 探針式表面分析儀使用指導書
NMC-W-4402 探針式表面分析儀儀器介紹書
NMC-W-4403 干射暨雷射共軛焦表面分析儀使用指導書

機電室:NMC-X-5000

NMC-W-5001 廠務運作系統日報表
NMC-W-5002 廠務運作系統日報表
NMC-W-5112 空調冷卻系統操作指導書
NMC-W-5113 空調冷卻系統預防保養指導書
NMC-W-5122 直接數位控制器(DDC)控制操作指導書
NMC-W-5211 廢氣洗滌塔處理系統介紹書
NMC-W-5212 廢氣洗滌塔處理系統操作指導書
NMC-W-5213 廢氣洗滌塔處理系統預防保養指導書
NMC-W-5311 HF/酸/鹼廢液收集櫃介紹書
NMC-W-5312 HF/酸/鹼廢液收集櫃操作指導書
NMC-W-5313 HF/酸/鹼廢液收集櫃保養書
NMC-W-5321 有機廢液收集櫃介紹書
NMC-W-5322 有機廢液收集櫃操作指導書
NMC-W-5323 有機廢液收集櫃保養書
NMC-W-5331 廢水處理系統介紹書
NMC-W-5332 廢水處理系統操作指導書
NMC-W-5333 廢水處理系統預防保養指導書
NMC-W-5412 製程氣體供氣系統操作指導書
NMC-W-5422 空壓機控制操作指導書
NMC-W-5432 真空泵控制操作指導書

化學藥品:NMC-X-6000

NMC-W-6001 物質安全資料表(M.S.D.S)使用指導書
NMC-W-6002 化學藥品安全規定指導書
NMC-W-6003 化學災害之緊急應變措施指導書
NMC-W-6004 危害物質分類及圖示指導書
NMC-W-6005 HF中毒處理指導書

廢棄物:NMC-X-7000

NMC-W-7001 固體廢棄物處理指導書
NMC-W-7002 液態廢棄物處理指導書

訓練課程:NMC-X-8000

NMC-W-8002 實驗室一般守則訓練課程
NMC-W-8003 工業安全衛生訓練課程
NMC-W-8004 SUSS MA6 Mask Aligner訓練課程
NMC-W-8005 Olympus MX40 Microscope訓練課程
NMC-W-8006 ALPHA-STEP 500 Surface Profiler訓練課程
NMC-W-8007 認識化學物質訓練課程
NMC-W-8009 化學清洗槽訓練課程
NMC-W-8010 SUSS RC8 Spin Coater訓練課程
NMC-W-8011 MODEL 6708D Spin Coater訓練課程
NMC-W-8012 DENG YNG DS45Drying Oven訓練課程
NMC-W-8013 CORNING PC-420 Stirrer/Hot Plate訓練課程
NMC-W-8031 國科會北區微機電系統研究中心簡介訓練課程

系統設計室:NMC-X-9000

NMC-W-9001 ANSYS指導書
NMC-W-9002 ANSYS指導書
NMC-W-9003 ANSYS指導書
 
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