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| 存放位置 ：爐管室 儀器介紹 ：  使用指導 ：硬體篇－ 軟體篇－ 一般操作篇－ 進階操作篇－ 預防保養 ： 出貨廠商 ：佳霖科技股份有限公司 儀器負責人：張勤煜 博士 聯絡電話 ：(02)3366-5063 分機23 備註 ： |
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Newly E-beam evaporator（新式電子束蒸鍍機）
| 存放位置 ：爐管室 儀器介紹 ： 使用指導 ： 預防保養 ： 出貨廠商 ：俊尚科技股份有限公司 儀器負責人：張勤煜 博士 聯絡電話 ：(02)3366-5063 分機23 備註 ： |
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Parylene deposition system(聚對二甲基苯沉積系統)
| 存放位置 ：爐管室 儀器介紹 ： 使用指導 ： 預防保養 ： 出貨廠商 ： 儀器負責人：張勤煜 博士 聯絡電話 ：(02)3366-5063 分機23 備註 ： |
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PECVD（電漿輔助化學氣相沉積系統）
| 存放位置 ：爐管室 儀器介紹 ： 使用指導 ： 預防保養 ： 出貨廠商 ： 儀器負責人：張勤煜 博士 聯絡電話 ：(02)3366-5063 分機23 備註 ： |
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RF Sputter（射頻濺鍍機）
| 存放位置 ：爐管室 儀器介紹 ： 使用指導 ： 預防保養 ： 出貨廠商 ：富臨科技工程股份有限公司 儀器負責人：張勤煜 博士 聯絡電話 ：(02)3366-5063 分機23 備註 ： |
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RIE（反應離子蝕刻機）
| 存放位置 ：爐管室 儀器介紹 ： 使用指導 ： 預防保養 ： 出貨廠商 ： 儀器負責人：張勤煜 博士 聯絡電話 ：(02)3366-5063 分機23 備註 ： |
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Thermal Evaporator（熱蒸鍍機）
| 存放位置 ：爐管室 儀器介紹 ： 使用指導 ： 預防保養 ： 出貨廠商 ：大永真空科技股份有限公司 儀器負責人：張勤煜 博士 聯絡電話 ：(02)3366-5063 分機23 備註 ： |
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