| 無塵室即時影像 |
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爐管室(分機15)：
E-beam、Sputter、RIE。
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爐管室(分機15)：
PECVD、Newly E-beam、ICP。
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爐管室(分機15)：
Parylene deposition system、Thermal。
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蝕刻室(分機13)：
化學清洗槽。
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黃光室(分機14)：
化學清洗槽、Spin Coater。
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黃光室(分機14)：
EVG Aligner、Karl Suss Aligner。
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分析室(分機12)：
Optical-type surface analyser、Probe-Type Surface analyzer。
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分析室(分機12)：
Wire Bond、Thin Film、Dicing Saw、高溫爐。
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